[发明专利]滚刷从动组件在审
| 申请号： | 202011135865.0 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN112246727A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 陶利权;宋文超;于高洋;刘盈楹;王丽江;胡天水;张伟锋;闫芸 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B13/00;F16D1/06 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 毕翔宇 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及晶片清洗设备技术领域，尤其是涉及一种滚刷从动组件，包括承载构件、限位导向构件、弹性复位机构、连接组件以及滚刷；其中，限位导向构件连接于承载构件，弹性复位机构滑动连接于限位导向构件；滚刷位于连接组件的一端部，且滚刷通过连接组件转动连接于弹性复位机构；弹性复位机构位于连接组件的侧部。可见，本滚刷从动组件与刷洗箱装拆过程极其简单，而且滚刷与连接组件之间不再设置有弹簧，减少了滚刷从动组件的长度，进而减小了机械手的长度，降低成本投入，同时使得晶片传送过程更稳定，传送效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 从动 组件 | ||
【主权项】：
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