[发明专利]一种靶材表面的清洗方法在审
| 申请号： | 202011133191.0 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112267099A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;时晓旭 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B08B3/02;B08B3/12;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种靶材表面的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：将靶材表面进行流水清洗并擦拭，然后依次进行超声振动清洗、喷射清洗和吹扫干燥，得到清洗完成的靶材。本发明所述方法采用多级清洗工艺，对加工完成后的靶材依次进行流水清洗、超声振动清洗以及喷射清洗，使靶材组件的溅射面、喷砂熔射区、凹槽等各区域均能够完成清洗，达到完全去污、去油、去杂质、去粉尘的效果；本发明采用吹扫干燥的方式，快速吹干，避免液体长时间残留容易形成水印的问题；本发明清洗过程中未使用任何有机溶剂，清洗成本低，产生废液量较少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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