[发明专利]基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法在审
| 申请号： | 202011131772.0 | 申请日： | 2020-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN112194096A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;刘骁;朱晓航;张国军;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;侯小幸 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS的压电式仿生耳蜗纤毛感受器及其加工方法，涉及MEMS在助听方面的应用技术领域，压电式仿生耳蜗纤毛感受器，包括基底和聚丙烯纤毛，基底包括金属铜上电极、聚偏氟乙烯薄膜与金属铝下电极，聚偏氟乙烯薄膜位于金属铜上电极与金属铝下电极之间，三者固定连接且外围呈方框状，外围的方框内部其中一对相对的边之间为波浪形状的纤毛固定梁，聚丙烯纤毛垂直固定于纤毛固定梁的中心处。本发明通过刻蚀以及腐蚀等工艺在上下具有金属电极铜和铝的PVDF薄膜上进行蚀刻，可以有效提高传感器的电压信号输出并且在体积更小，功耗更低的基础上实现耳蜗基底膜的频率分选功能，而且加工工艺简单，加工成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 压电 仿生 耳蜗 纤毛 感受器 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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