[发明专利]二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202011125592.1 | 申请日： | 2020-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN112251726B | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王海新;王立平;任思明;蒲吉斌;郭武明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王茹;王锋 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜及其制备方法与应用。所述二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜包括在其厚度方向上依次层叠的钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层。所述制备方法包括：采用磁控溅射技术，在基体表面依次沉积钛过渡层、钛/碳化硅/二硫化钼多层梯度过渡层和二硫化钼/碳化硅掺杂层，获得二硫化钼/碳化硅复合薄膜。本发明的二硫化钼基掺杂陶瓷相多元复合薄膜具有高硬度(不小于8GPa)及弹性模量，结合力达到20N，真空环境摩擦系数达到0.01，不同湿度环境下均具有良好的摩擦磨损性能、良好温度自适应性能、耐湿热性能，能满足航空航天飞行器润滑稳定及长寿命服役要求。 | ||
| 搜索关键词： | 二硫化钼 掺杂 陶瓷 多元 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011125592.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
