[发明专利]一种模拟单层单晶六角氮化硼薄膜的制备方法有效

专利信息
申请号: 202011120600.3 申请日: 2020-10-19
公开(公告)号: CN112210832B 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 丁利苹;田董昀昊;邵鹏;唐妍;张方辉;雷涛;赵梓利 申请(专利权)人: 陕西科技大学
主分类号: C30B33/00 分类号: C30B33/00;C30B29/38;C30B29/64
代理公司: 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 代理人: 梁静
地址: 710021 陕西省*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种模拟单层单晶六角氮化硼薄膜的制备方法,属于二维材料制备技术领域。包括以下步骤:S1、构建基底材料模型;S2、获得不同边界的hBN纳米带;沿hBN纳米片的扶手椅型BN(BNac)、扶手椅型NB(NBac)、富硼“Z”字型(Bzz)及富氮“Z”字型(Nzz)四种边界剪切,获得不同边界hBN纳米带;S3、构建hBN纳米片或氢钝化hBN纳米片模型;S4、确定最佳的可融合成单晶hBN纳米片的模型;S5、确定氢压范围。本发明基于第一性原理模拟圆形hBN晶粒融合形成单层hBN单晶薄膜的生长过程,确定最适合融合的hBN晶粒边界,明确氢压在制备过程中的作用,对制备出大面积、高质量的单层单晶六角氮化硼薄膜具有重要的科学意义。
搜索关键词: 一种 模拟 单层 六角 氮化 薄膜 制备 方法
【主权项】:
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