[发明专利]一种基于定向台定向结果调节机械手速度的方法在审
申请号: | 202011106154.0 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN112372636A | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 方加晔;马国宇;郭世卿;刘海财;何山 | 申请(专利权)人: | 北京烁科中科信电子装备有限公司 |
主分类号: | B25J9/16 | 分类号: | B25J9/16;B25J15/08;B25J13/08;H01L21/67;H01L21/683;H01J37/317;B65G47/90 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 101111 北京市通州区*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明大体而言是半导体离子注入工序中对对机械手运动速度进行调节的应用场景。更确切的说是,是对离子注入机中调节真空机械手在传送晶圆过程中速度的场景。此方法能提高晶圆传输系统的稳定性和精确性,从而提高产能。属于半导体领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 定向 结果 调节 机械手 速度 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科中科信电子装备有限公司,未经北京烁科中科信电子装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202011106154.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种面向云计算的综合应急管理平台架构
- 下一篇:一种紫铜板精密淬火工艺