[发明专利]一种破碎制作高纯低氧硅粉的装置及其方法有效
申请号: | 202011097999.8 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN112295717B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B02C23/24 | 分类号: | B02C23/24;B02C23/00 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种破碎制作高纯低氧硅粉的装置及其方法,所述装置包括加压组件、制氮组件以及破碎组件;所述制氮组件与所述加压组件通过管路相连;所述破碎组件与所述加压组件通过循环管路相连。所述方法制备得到的硅粉的氧含量极低,可满足低氧高纯WSi的使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 破碎 制作 高纯 低氧 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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