[发明专利]扫描式曝光系统及其数据缓存及调度方法和装置在审
| 申请号： | 202011096747.3 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112328513A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 卞洪飞 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F12/0895 | 分类号： | G06F12/0895;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 朱鸿雁 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式曝光系统及其数据缓存及调度方法和装置，扫描式曝光系统包括串行连接的用于缓存数据的第一存储器和第二存储器，方法包括以下步骤：在扫描式曝光系统曝光前，将第一存储器缓存的数据搬运至第二存储器进行存储；在扫描式曝光系统曝光过程中，若第二存储器读取数据并输出显示，则使用第一存储器缓存数据；若第二存储器不读取数据且未存满，则将第一存储器缓存的数据搬运至第二存储器进行存储。本发明通过两个存储器串行缓存方式以及两个存储器之间数据调度，可充分利用存储器容量并利用存储器带宽，从而满足扫描式曝光系统中数据准实时准备并可有效避免数据“超速”问题，并进一步提高扫描式曝光系统的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 曝光 系统 及其 数据 缓存 调度 方法 装置 | ||
【主权项】：
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