[发明专利]检查装置在审
申请号: | 202011094565.2 | 申请日: | 2020-10-14 |
公开(公告)号: | CN112781836A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 沈俊昊;高昇澈;芮相宪;徐东均;申憘龟;曺雨辰;金炯式 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01N21/88 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 习瑞恒;李盛泉 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种检查装置。检查装置包括:工作台,用于放置一面涂覆有粘合层的载体基板;光源部,位于工作台的下方,向粘合层照射入射光;拍摄部,位于工作台上,获取入射光透射的粘合层的图像;测量部,测量图像的色阶,进而测量具有大于基准色阶的色阶的不良面积;计算部,计算不良面积的比率;以及控制部,比较不良面积的比率与基准比率而判断粘合层的涂覆状态。 | ||
搜索关键词: | 检查 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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