[发明专利]一种体全息布拉格反射镜的紫外曝光方法在审
| 申请号： | 202011084414.9 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN112198576A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 陈亮;蒋宇飞;赵士龙;徐时清;郭凌伟;徐玮鑫 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/20 |
| 代理公司： | 杭州杭欣专利代理事务所(普通合伙) 33333 | 代理人： | 潘欣欣 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种体全息布拉格反射镜的紫外曝光方法，包括如下步骤：(1)让一束平行的紫外光垂直入射双棱镜的底面、从双棱镜的两个侧面分波面出射两束平行光，出射的两束平行光在双棱镜前方形成干涉条纹。(2)让干涉条纹照射在所述PTR玻璃上、对干涉条纹进行记录；在T时间内所述PTR玻璃上形成体全息布拉格光栅。本发明的曝光方法专门针对体全息布拉格反射镜而设计，通过一块双棱镜进行分波面干涉，并且在干涉条纹处用PTR玻璃记录，可以通过控制双棱镜的底角来精准确定体全息布拉格光栅的周期，而不需要人手调节，大大增加了制作精准度和效率。同时也避免了双光束干涉的不稳定性带来的周期的偏差和环境震动带来的干涉条纹周期的不确定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全息 布拉格 反射 紫外 曝光 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国计量大学，未经中国计量大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011084414.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
