[发明专利]一种用于调幅探针卡的缓冲结构有效
| 申请号： | 202011081015.7 | 申请日： | 2020-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN112255435B | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王艾琳;赵梁玉 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/04;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于探针卡技术领域，尤其涉及一种用于调幅探针卡的缓冲结构，缓冲结构设置在调幅探针卡的驱动结构上，驱动结构包括：驱动气缸、限位气缸、驱动气缸滑块和限位气缸滑块；所述缓冲结构包括：缓冲托板和缓冲垫，所述缓冲托板上设置有若干个缓冲垫，所述的驱动气缸和限位气缸均设置在所述的缓冲垫上；所述缓冲结构还包括：立板、缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧；通过缓冲托板和缓冲垫，将驱动气缸和限位气缸与探针卡隔离，减小震动，同时将驱动气缸与驱动滑块、限位气缸与限位滑块之间设置缓冲结构，减小气缸伸出时产生的震动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 调幅 探针 缓冲 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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