[发明专利]增大铁电隧穿结工作电流的器件结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202011080259.3 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112382720A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 唐建石;张文彬;吴华强;高滨;钱鹤 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种增大铁电隧穿结工作电流的器件结构及其制备方法，其中，器件结构包括：上电极、铁电层和下电极；其中，上电极为圆柱形，铁电层包裹在上电极外侧，下电极包裹在铁电层外侧。根据本申请实施例的器件结构，能够增大铁电隧穿结的工作电流。 | ||
| 搜索关键词： | 增大 铁电隧穿结 工作 电流 器件 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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