[发明专利]一种检漏装置及检漏方法有效
| 申请号： | 202011077046.5 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112197912B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 韩琰;孟冬辉;闫荣鑫;孙立臣;任国华;王凯;刘招贤;张骁;王静涛 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01M3/40 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理有限公司 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种检漏装置及检漏方法，包括充气区、待测工位区及测试区，充气区用于对待测工位区进行充放气；待测工位区包括测试容器及对其抽真空的第一真空泵；测试区包括质谱室、分子泵组、吸气剂泵、四极质谱计、液氮冷肼、第二真空泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔；测试容器通过阀组件与质谱室连通，四极质谱计与质谱室连接，液氮冷肼与质谱室连接，分子泵组、吸气剂泵、动态检漏标准漏孔及累积检漏标准漏孔分别通过阀组件与质谱室连通。本申请的有益效果是：通过泵组的不同组合实现不同的工作方式：单独用分子泵组实现对待测元器件的真空动态检漏法检漏；配合使用吸气剂泵、分子泵和液氮冷肼实现对待测元器件的真空累积检漏法检漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检漏 装置 方法 | ||
【主权项】：
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