[发明专利]基于FP激光器和金属阵列结构的传感芯片及其制备方法在审
| 申请号： | 202011075860.3 | 申请日： | 2020-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN112275333A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 袁浚;王文杰;廖明乐 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00;H01S3/00 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 蒋斯琪 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于FP激光器和金属阵列结构的传感芯片及其制备方法，属于光电子器件与传感技术领域。该芯片的制备，首先是在FP激光器的出光端面生长一层介质隔离层，再在该介质隔离层端面采用聚焦离子束等微纳加工技术，制作出可用于生物传感的金属阵列结构，最后通过微流控技术将PDMS制作微流通道与芯片集成，实现芯片的传感封装，以进行传感检测；该结构中，金属阵列结构表面的折射率变化影响FP激光器出射波长的强度，将待测样品通入微流通道，测试出射光强度的变化即可对待测样品进行传感。本发明通过激光器与探测器集成，传感敏感单元及传感光学部件的高度集成，达到了传感设备微型化。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 fp 激光器 金属 阵列 结构 传感 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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