[发明专利]一种铜腔基底的离心滚抛机械预抛光方法有效

专利信息
申请号: 202011054679.4 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN112238392B 公开(公告)日: 2021-09-28
发明(设计)人: 杨馥羽;张沛;李中泉;戴劲 申请(专利权)人: 中国科学院高能物理研究所
主分类号: B24B31/03 分类号: B24B31/03;C09K3/14;C09G1/02
代理公司: 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 代理人: 司立彬
地址: 100049 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种铜腔基底的离心滚抛机械预抛光方法,其步骤包括:1)选用刚玉斜三角作为磨料,将其与稀释的研磨液混合后倒入铜腔内,采用离心滚抛方法对铜腔基底进行第一次滚抛40~50小时;2)选用树脂圆锥作为磨料,将其与稀释的研磨液混合后倒入铜腔内,对铜腔基底进行第二次滚抛25~30小时;3)选用子弹头型树脂作为磨料,将其与稀释的研磨液混合后倒入铜腔内,对铜腔基底进行第三次滚抛25~30小时;4)选用玉米芯作为磨料,将其与金属抛光膏混合后倒入铜腔内,对铜腔基底进行第四次滚抛;每次所选磨料体积占铜腔总容量的占比为38~42%,金属抛光膏用量为金属抛光膏体积占玉米芯体积的1%。
搜索关键词: 一种 基底 离心 机械 抛光 方法
【主权项】:
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