[发明专利]一种喷淋头清洁装置在审
| 申请号： | 202011054086.8 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112317196A | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 张山丽;黎大兵;孙晓娟;蒋科;陈洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | B05B15/55 | 分类号： | B05B15/55 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请提供的喷淋头清洁装置，包括底座、若干个中空针孔、吸污管路及清洗单元，所述底座的前表面设置有所述中空针孔，所述底座内部设置若干个气体通道，任意一个所述气体通道与其中一所述中空针孔相连接，所述中空针孔及所述底座均与待清洁喷淋头表面贴合，所述底座的后表面通过所述吸污管路连接所述清洗单元，所述清洗单元可对所述待清洁喷淋头进行吹扫或吸取所述待清洁喷淋头内部的沉积物，上述喷淋头清洁装置可以实现清洁喷淋头的目的，减少设备维护时间，提高设备使用的稼动率，解决采用NaOH溶解清洗可能引入的杂质及反复清洗的问题，提高材料的生长质量及设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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