[发明专利]一种往复移动同步水平旋转的镀覆装置有效
| 申请号： | 202011053308.4 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112226806B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 蒙铁桥;王争磊;第五方 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D21/10;C25D21/04;C25D7/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种往复移动同步水平旋转的镀覆装置，包括安装架组件、水平旋转组件和水平往复移动组件；水平旋转组件包括上轴、同步轮、同步带固定杆和同步带；上轴上设置同步轮，同步带固定杆上固定安装同步带，所述同步轮与同步带啮合传动连接；上轴的下端悬挂连接安装架组件；所述水平往复移动组件包括移动极杆、阴极移动电机和摇杆；上轴通过轴承连接在移动极杆上，阴极移动电机通过摇杆与阴极极杆连接往复驱动；当移动极杆通过阴极移动电机驱动往复移动时，安装架组件随移动极杆往复移动，同时以上轴为中心做顺时针或逆时针旋转运动；该装置结构简单，使用方便，简化装夹过程，解决了现有技术中电机用量多、结构复杂、电机腐蚀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 往复 移动 同步 水平 旋转 镀覆 装置 | ||
【主权项】：
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