[发明专利]一种三光栅拼接系统有效
| 申请号： | 202011051435.0 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112229513B | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 吉日嘎兰图;尹云飞;巴音贺希格;李文昊;张伟;王耕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/28;G02B7/00;G01M11/02 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种三光栅拼接系统，三光栅拼接系统包括：干涉仪波前测量系统、光栅拼接机构，干涉仪波前测量系统包括激光干涉仪、二维角度调整机构，二维角度调整机构设置于激光干涉仪的斜下面，光栅拼接机构包括气浮隔振平台、支撑及水平粗调机构、平行支架、底板和光栅位置调整及定位机构，气浮隔振平台设置于激光干涉仪的正下方，支撑及水平粗调机构设置在气浮隔振平台上，并位于激光干涉仪的四周，支撑及水平粗调机构的四个定位支架位于同一水平面上，平行支架设置在支撑及水平粗调机构上，底板设置在平行支架上，光栅位置调整及定位机构设置在底板上。本申请的三光栅拼接系统拼接精度和拼接效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光栅 拼接 系统 | ||
【主权项】：
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