[发明专利]一种碱溶性光刻胶

摘要

本发明涉及光学材料领域，尤其涉及一种碱溶性光刻胶。商品化的碱溶性碱溶性光刻胶主要为丙烯酸改性的环氧树脂，但此类树脂的脆性大，在显影时容易造成线条边缘粗糙，而且成膜树脂中含有大量的油性官能团使得成膜树脂在硅片上的附着力较小。基于上述问题，本发明提供一种碱溶性光刻胶，本发明通过含Si可聚合材料以及可聚合含P化合物在光刻胶的成膜树脂分子结构中引入Si、Zr、P、N杂原子，Si、Zr、P、N杂原子之间协同作用，使得成膜树脂在获得高折射率的同时获得了曝光宽容度，最终使得光刻胶获得了较高的分辨率，可聚合含P化合物中含有较多的刚性苯环和环状结构，大大提高了光刻胶的抗刻蚀性能，具有良好的医用前景。