[发明专利]一种电子枪束斑校对装置及校对方法有效
| 申请号： | 202011044023.4 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN112397363B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王志翔;赵纪元;王红宇;凌楷;韩莉娜 | 申请（专利权）人： | 西安增材制造国家研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/147;H01J37/305;B22F3/105;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710300 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电子枪束斑校对装置及校对方法，解决现有电子枪束斑标定成本较高，不利于箱体密封、保持真空度的问题。该校对装置包括粗校对组件和精校对组件；粗校对组件包括粗校对板、粗校对底座和粗校对支撑板，粗校对板通过粗校对支撑板设置在粗校对底座上方；粗校对板上设置有多个粗校准孔；精校对组件包括精校对板、绝缘支撑板、精校对底座、续流电阻和检流表；精校对板上设置有多个精校准孔，每个精校准孔内设置有十字钨丝；精校对板通过绝缘支撑板设置在精校对底座上方，使得精校对板和精校对底座之间有一定距离并相互绝缘形成电容器；续流电阻的两端分别与精校对板和精校对底座电连接，检流表用于检测通过续流电阻的电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子枪 校对 装置 方法 | ||
【主权项】：
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