[发明专利]转移结构及其制作方法、芯片转移方法、显示面板及装置有效
申请号: | 202011040663.8 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN112967985B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 李强;向毅 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L33/48;H01L25/075 |
代理公司: | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人: | 李发兵 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明涉及一种转移结构及其制作方法、芯片转移方法、显示面板及装置。该转移结构包括载板主体;容置槽,开设在所述载板主体的一侧;尖刺部,设置于所述容置槽的内部;以及隔离层,将解粘剂封于容置槽内的隔离层。在进行芯片转移时,芯片粘附于隔离层上,向载板主体的方向活动的过程中,尖刺部戳破隔离层,并使解粘剂通过隔离层被戳破的破口与芯片的粘接材料接触以实现解粘。通过降低芯片与转移结构之间的粘接力,使得芯片更容易被拾取,从而在一些实施过程中达到提高芯片转移成功率的效果。 | ||
搜索关键词: | 转移 结构 及其 制作方法 芯片 方法 显示 面板 装置 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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