[发明专利]一种激光直写能量校正方法及装置有效
| 申请号： | 202011036034.8 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112286008B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种激光直写能量校正方法及装置，激光直写能量校正方法包括：采用间隔采样的方式获取经微镜阵列反射后激光光束在探测器上形成的图像；间隔采样的方式指的是，每次间隔采样时，相邻两个处于正常工作状态的微镜之间间隔至少一个不工作的微镜；根据所述图像获取所述微镜阵列中至少部分区域中微镜的亮度值；根据所述至少部分区域中微镜的亮度值获取扫描方向上每一列所述微镜的亮度积分值；根据每一列所述微镜的亮度积分值对所述微镜阵列进行能量校正。本发明实施例提供一种激光直写能量校正方法及装置，采样间隔采样的方式避免了交叠的现象，提高了采样的精确度，提高激光直写能量校正的精确度，从而解决亮度均匀性问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 能量 校正 方法 装置 | ||
【主权项】：
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