[发明专利]一种激光直写能量校正方法及装置有效
| 申请号： | 202011036029.7 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112286007B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;吴景舟;马迪 | 申请（专利权）人： | 江苏迪盛智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种激光直写能量校正方法及装置，激光直写能量校正方法包括：将微镜阵列划分为多个子区域，每一子区域包括多个阵列排布的微镜；获取经子区域反射后激光光束在探测器上形成的图像；根据所述图像获取所述微镜阵列中至少部分区域中微镜的亮度值；根据所述至少部分区域中微镜的亮度值获取扫描方向上每一列所述微镜的亮度积分值；根据每一列所述微镜的亮度积分值对所述微镜阵列进行能量校正。本发明实施例提供一种激光直写能量校正方法及装置，避免了探测器不能获取微镜阵列全部微镜反射光束的问题，实现了探测器对微镜阵列的完整成像，且提高激光直写能量校正的精确度，从而解决亮度均匀性问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 能量 校正 方法 装置 | ||
【主权项】：
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