[发明专利]一种可用于集成微纳光纤传感器的装置有效
| 申请号： | 202011031182.0 | 申请日： | 2020-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112179412B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王世鹏;张磊;鲍虎军 | 申请（专利权）人： | 之江实验室 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 陈昱彤 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够用于集成微纳光纤传感器的装置，其中，芯片级光源和芯片级光探测器固定于柔性基底上，微纳光纤传感器中的微纳光纤的第一连接端的纤芯直径大于所传输的光的波长，微纳光纤的第二连接端的纤芯直径为亚波长尺度，第一连接端的端面固定于柔性基底上并与芯片级光源的出射光相对，使芯片级光源的出射光能够耦合进入微纳光纤，第二连接端的头部与芯片级光探测器的感光面粘接在一起且两者结合处封装于不透光封装物内，微纳光纤中纤芯直径为亚波长尺度的部分被封装。本发明不依赖接口元件，将微纳光纤传感器与芯片级光源和光探测器集成为芯片级器件，并使芯片级光探测器有效探测到微纳光纤的出射光，克服了迄今难以克服的技术障碍。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成 光纤 传感器 装置 | ||
【主权项】：
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