[发明专利]一种超精密光学掠入射反射镜加工径向调整固紧装置有效

专利信息
申请号: 202011030552.9 申请日: 2020-09-27
公开(公告)号: CN112246561B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 孙立巍;丁颂;张小奇;蒋东霖;马子玉;孙嘉彬 申请(专利权)人: 长春师范大学
主分类号: B05C13/02 分类号: B05C13/02
代理公司: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司 22214 代理人: 于晓庆
地址: 130000 吉林*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种超精密光学掠入射反射镜加工径向调整固紧装置,涉及光学设计制造领域,包括用于安装反射镜的固紧座、安装在固紧座上的多个径向调整机构和安装在固紧座上的多个固胶块;通过径向调整机构调整反射镜在固紧座中的径向位置;通过固胶块调整反射镜在固紧座中的周向位置。通过径向调整机构固紧反射镜的径向位置,能有效解决反射镜在加工过程中受到的重力影响所产生的下沉情况,提高镜面轴线与固紧座轴线之间的同轴度,同轴度应控制在0.1μm以内,提高了镜面面形加工精度。通过固胶块实现两次注胶能够增加反射镜与固紧座之间的有效胶接面积,提高反射镜与固紧座之间的粘结力,起到稳定固紧作用,实现反射镜在加工过程中的径向固定和周向固定。
搜索关键词: 一种 精密 光学 入射 反射 加工 径向 调整 装置
【主权项】:
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