[发明专利]用于晶圆测试的探针台在审
| 申请号： | 202011024180.9 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112255528A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 邬刚;凌云 | 申请（专利权）人： | 杭州加速科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京市君合律师事务所 11517 | 代理人： | 王再芊;毕长生 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于晶圆测试的探针台。该探针台(1)包括基础平台(10)和位于基础平台上的测试治具(11)。测试治具(11)包括测试座(2)和压力盖(4)。测试座中设有探针，用于与待测晶圆晶粒的焊盘电接触。压力盖(4)用于将待测晶圆晶粒固定在测试座(2)中。本发明的探针台结构简单、生产成本低，有利于降低晶圆测试的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 探针 | ||
【主权项】：
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