[发明专利]高直线度移动结构在审
| 申请号： | 202011018914.2 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112268068A | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 王冠文;侯峰;庄得粮 | 申请（专利权）人： | 长园半导体设备（珠海）有限公司 |
| 主分类号： | F16C29/00 | 分类号： | F16C29/00;F16C41/00 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 葛燕婷 |
| 地址： | 519080 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高直线度移动结构，移动组件包括空气衬套及运动轴，运动轴安装于空气衬套中并与空气衬套之间形成气膜，导向组件包括底座、滑动件、弹性结构以及轴承，滑动件滑动安装于底座，弹性结构位于底座及滑动件之间向滑动件提供弹力，轴承转动安装于滑动件，轴承与运动轴抵触向运动轴提供导向力，由于空气衬套与运动轴不接触，没有磨耗、污染，适合应用在高无尘要求的环境，没有磨擦导致的运动轴变形，性能稳定；空气衬套通过微米等级的气膜，将运动轴保持在中心，影响直线度只有运动轴本身的真圆度(车床加工较易实现)；轴承在旋转过程因本身加工精度而产生的偏心，则通过缓冲弹簧的设计，在保有特定导向性的情况下，吸收误差。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 移动 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长园半导体设备（珠海）有限公司，未经长园半导体设备（珠海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011018914.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
