[发明专利]一种用于干涉仪的摆动装置在审
申请号: | 202011017952.6 | 申请日: | 2020-09-24 |
公开(公告)号: | CN112180536A | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 于志伟;张建清;张涵 | 申请(专利权)人: | 杭州春来科技有限公司 |
主分类号: | G02B7/182 | 分类号: | G02B7/182;G02B7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310053 浙江省杭州市滨*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于干涉仪的摆动装置,包括底板,设置于底板上的固定座以及两组安装座,所述固定座上设置有分束镜,所述两组安装座分别设置于固定座两侧且所述两组安装座上分别设置有反射镜,所述固定座上还设置有可摆动设置的角镜。本发明具有使用方便、安装精度高的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 干涉仪 摆动 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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