[发明专利]一种具有连接头的喷射管有效

专利信息
申请号: 202011015780.9 申请日: 2020-09-24
公开(公告)号: CN112342529B 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 祝建敏;范明明;李长苏 申请(专利权)人: 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 代理人: 郑汝珍
地址: 310051 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种具有连接头的喷射管,旨在解决连接头与喷射管本体的连接可靠性较差,寿命较短的不足。该发明包括喷射管本体和连接头,喷射管本体上设有进气孔,连接头包括装配管、转接头和包围块,装配管插装在转接头上,所述装配管插装在进气孔中且与进气孔适配,包围块与转接头抱合喷射管本体。该结构大大延长了使用周期,提供了一种稳定可靠的硅部件连接方式,排除了连接部位带入外部污染物的可能性。
搜索关键词: 一种 具有 接头 喷射
【主权项】:
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