[发明专利]具有监测侧刻量功能的显示面板及其制作方法、监测方法有效
| 申请号： | 202011012535.2 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN112216681B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 崔立全 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;H01L51/56 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人： | 梁珺 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有侧刻量监测功能的显示母板及其制作方法、监测方法，显示母板包括TEG监测区及功能区，TEG监测区具有第一钛铝钛金属层，第一钛铝钛金属层具有第一底钛层、第一铝层以及第一顶钛层，且第一钛铝钛金属层经过侧蚀刻工艺蚀刻后，第一顶钛层的对应被蚀刻区域的第一部分断裂。功能区具有依次形成的第一平坦化层、第二钛铝钛金属层，第二钛铝钛金属层具有第二底钛层、第二铝层及第二顶钛层，第二与第一钛铝钛金属层同时经过侧蚀刻工艺蚀刻后，两者的侧刻量相同，且第二顶钛层的对应被蚀刻区域的第二部分未断裂。本发明可以解决现有技术制程中采用屏体钛铝钛打孔技术时无法直接或实时监控金属的侧刻量的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 监测 侧刻量 功能 显示 面板 及其 制作方法 方法 | ||
【主权项】：
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