[发明专利]一种基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置及方法在审
| 申请号： | 202011003373.6 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN112083632A | 公开（公告）日： | 2020-12-15 |
| 发明（设计）人： | 陈乃奇 | 申请（专利权）人： | 深圳市先地图像科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市友邦专利代理事务所(普通合伙) 44600 | 代理人： | 朱晖 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及无掩膜光学制造技术领域，具体是一种基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置及方法，所述基于LED阵列的数字投影无掩模曝光装置包括：LED阵列，其包括驱动器和发光二极管，多个所述发光二极管阵列形成LED阵列，所述驱动器分别控制每个发光二极管；光学组件，其使LED阵列的出射光聚焦于成像面，实现对成像面上感光材料表面的曝光，并形成图像。本发明的有益效果是：一个LED阵列共用一个光学组件，具有更高的投影像素密度，更均匀的图像质量，以及极低的像素成本；LED阵列具有自发光特性，无需外部光源，并消除了反射部件，因此光路简单，光能量利用率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 led 阵列 数字 投影 无掩模 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
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