[发明专利]一种聚热罩的束源结构有效
| 申请号： | 202010972947.4 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112195442B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 黄稳;张敬娣;梁舰;武启飞;廖良生;顾婉莹;虞强龙;朱宏伟 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种聚热罩的束源结构，包括底座、螺旋设置于底座上的聚热罩，所述聚热罩的相邻螺旋层之间设置有层间隙，所述聚热罩外侧罩设有外罩，所述聚热罩内侧围置有加热组件。本发明的有益效果体现在：本发明的聚热罩呈螺旋一体置于底座上，且每一层之间互不连接，切断了径向的热传导。同时，通过在聚热罩上开设交错设置的开口，大大延长了热传导路径，结合加热丝的分布密度，以更好的提高对坩埚的加热效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚热罩 结构 | ||
【主权项】：
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