[发明专利]一种制备高纯纳米氧化铟粉末的装置

摘要

本发明公开了一种制备高纯纳米氧化铟粉末的装置，包括一铟升华和氧化的反应箱体，该反应箱体上具有仓门，反应箱体内设置有用于盛放铟粉的坩埚，该坩埚下方设有用于加热坩埚的高频感应线圈，一O2气瓶与反应箱体通过设有球阀开关的管道相连接，一真空泵通过设有球阀开关的管道与反应箱体相连接，反应箱体上还设置有真空度表。采用上述方案不需要专门设置特殊的高温反应室和雾化器。相比于沉淀法，不会产生废液，不需要处理废液，不需要经过洗涤和离心的过程，不需要经过高温煅烧的环节，有利于环境保护和节约水资源和能源。相比于固相法，铟蒸气在高温下与氧气氧化，可以制备出纯度较高、颗粒大小均匀、烧结活性高的纳米氧化铟粉末。