[发明专利]超导纳米线单光子探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010958801.4 申请日: 2020-09-14
公开(公告)号: CN112050935B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 李浩;张文英;尤立星;王镇;谢晓明 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: G01J1/44 分类号: G01J1/44;B82Y15/00;B82Y40/00
代理公司: 上海泰博知识产权代理有限公司 31451 代理人: 钱文斌
地址: 200050 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明属于光探测技术领域,涉及一种超导纳米线单光子探测器及其制备方法。所述超导纳米线单光子探测器,包括:衬底;反射层,位于所述衬底表面;探测层,位于所述反射层表面,用于探测光子,所述探测层包括若干超导纳米线单元;匹配层,至少位于所述超导纳米线单元表面且包覆所述超导纳米线单元,至少用于降低所述超导纳米线单元的偏振消光比;通过在超导纳米线单光子探测器中设置包覆超导纳米线单元的匹配层,能够利用匹配层降低超导纳米线单光子探测器的偏振消光比,从而降低超导纳米线单光子探测器的偏振敏感性,扩大超导纳米线单光子探测器的应用领域,提高其探测的准确性和可重复性。
搜索关键词: 导纳 米线 光子 探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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