[发明专利]一种镀膜玻璃的制备方法在审
| 申请号： | 202010906805.8 | 申请日： | 2020-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN112125534A | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李军;周文谦;兰文平;牛建国;张林嵩;高华;谭光仁 | 申请（专利权）人： | 湖北亿钧耀能新材股份公司 |
| 主分类号： | C03C17/36 | 分类号： | C03C17/36 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 434000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜玻璃的制备方法。所述镀膜玻璃制备方法包括：执行步骤S1，提供玻璃基底；执行步骤S2，在所述玻璃基底上溅射沉积功能膜层；执行步骤S3，在所述功能膜层之异于玻璃基底一侧溅射沉积氧化锆耐磨耗层，且所述氧化锆耐磨耗层之溅射腔体与相邻的所述功能膜层之溅射腔体的隔离系数至少为30，所述氧化锆耐磨耗层采用中频电源，并在电流模式下控制溅射沉积。本发明所述镀膜玻璃的制备方法可以保证氧化锆耐磨耗层在溅射沉积过程中启辉稳定，膜层溅射均一，同时所述氧化锆靶材表面不结瘤。另一方面，通过本发明镀膜玻璃制备方法所获得的镀膜玻璃膜层强度改善明显，可满足玻璃深加的冷加工、热处理，值得业内推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
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