[发明专利]一种高解析度干膜光阻剂有效
| 申请号： | 202010904442.4 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN112034685B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 杜永杰;彭威;杨卫国;邓晓明 | 申请（专利权）人： | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) 44387 | 代理人： | 颜春艳 |
| 地址： | 519050 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及线路板生产制作技术领域，尤其涉及一种高解析度干膜光阻剂，其包含以下组分：高分子粘合剂A，活性单体B，丙烯酸酯类光固化单体，自由基引发剂C，N‑苯基甘氨酸，增塑剂，紫外光吸收剂，热聚合抑制剂；所述活性单体B为活性单体B1或/和活性单体B2，所述活性单体B占上述组分总质量的1％～10％。本发明所述的水溶液显影的干膜光阻剂的解析能力明显强于市售的干膜光阻剂；此外，本发明所述的干膜光阻剂的独立线附着力也有明显提升，且边墙结构垂直度好。因此，本发明所提供的高解析度干膜光阻剂具有广阔的应用前景和不菲的市场价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解析度 干膜光阻剂 | ||
【主权项】：
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