[发明专利]一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置在审
| 申请号： | 202010902651.5 | 申请日： | 2020-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN111983902A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 王群 | 申请（专利权）人： | 江苏九迪激光装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G13/06;B08B1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种转盘式双面光刻机及其物料传送装置，包括光刻机本体，所述光刻机本体的下端固定连接有多个行走机构，所述光刻机本体的下方设有多个支撑机构，所述光刻机本体侧壁上固定连接有斜杆，所述斜杆的上端固定连接有物料传送装置。本发明结构设计合理，具有方便移动与放置光刻机以及可以事先清洁物料，提高光刻机工作效率的好处。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转盘 双面 光刻 及其 物料 传送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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