[发明专利]低偏振高衍射效率金属反射浸没光栅及光学系统有效
| 申请号： | 202010856613.0 | 申请日： | 2020-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN111708113B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 潘俏;沈为民 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 殷海霞 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低偏振高衍射效率金属反射浸没光栅及光学系统，包括：光栅层，光栅层包括多个阵列排布的第一槽体；介质层，其等厚度覆盖在光栅层表面，介质层的厚度小于光栅层的槽深，介质层表面形成第二槽体；金属反射层，其位于介质层远离光栅层的一侧，金属反射层的一侧填覆第二槽体；光栅层与介质层之间形成第一交界面，介质层与金属反射层之间形成第二交界面；入射光经光栅层的内部朝向第一交界面方向入射，并在第一交界面、介质层和第二交界面之间发生衍射效应以产生衍射光，衍射光经金属反射层反射并从光栅层的内部出射。其能实现低偏振和高衍射效率，降低制造工艺难度，在高分辨率大气探测领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振 衍射 效率 金属 反射 浸没 光栅 光学系统 | ||
【主权项】：
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