[发明专利]太阳能电池及其选择性发射极的制备方法

摘要

本申请提供了一种太阳能电池及其选择性发射极的制备方法，涉及太阳能电池技术领域。该太阳能电池选择性发射极的制备方法，包括以下步骤：在具有第一极性的半导体衬底的表面进行第一掺杂元素的扩散，以形成具有第二极性的轻掺杂层；在轻掺杂层的表面形成氧化层；在氧化层表面上的至少一个区域涂覆掺杂剂并进行掺杂处理，以在轻掺杂层中形成至少一个重掺杂区；其中，掺杂剂至少包括第二掺杂元素、第二掺杂元素的氧化物、第三掺杂元素和第三掺杂元素的氧化物中的一种或多种，第一掺杂元素、第二掺杂元素和第三掺杂元素为同族元素。本申请工艺流程简单，效率较高，有助于提高太阳能电池的转换效率，易于进行推广应用。