[发明专利]一种探针台卡盘水平调节机构在审
| 申请号： | 202010844296.0 | 申请日： | 2020-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112066205A | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 汪强;范玉祥 | 申请（专利权）人： | 深圳芯光测试技术有限公司 |
| 主分类号： | F16M11/20 | 分类号： | F16M11/20;G01R1/067 |
| 代理公司： | 广东省畅欣知识产权代理事务所(普通合伙) 44631 | 代理人： | 耿佳 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种探针台卡盘水平调节机构，包括卡盘与XY平移台，所述卡盘设有卡盘连接块固定连接，且卡盘连接块下方设有盖板紧贴固定；所述盖板下方设有凹位与过渡套筒相吻合固定；所述过渡套筒具有内腔，且过渡套筒内腔设有花键轴套固定连接；所述花键轴套下端设有联轴器固定套接，且联轴器设有支撑板固定连接；所述支撑板设有XY平移台固定连接，且XY平移台侧面设有微分头固定连接；所述过渡套筒下方设有套筒轴固定套接，且套筒轴与花键轴套贯穿连接；所述套筒轴侧面设有球面关节轴承固定连接，且球面关节轴承位于壳体内，且壳体设有压板固定连接；该装置增加了微分头来提高精度，以及通过球面关节轴承连接来保持卡盘的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 卡盘 水平 调节 机构 | ||
【主权项】：
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