[发明专利]一种六硼化镧复合碳薄膜的沉积方法及耐腐蚀应用有效
| 申请号： | 202010811281.4 | 申请日： | 2020-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN111926302B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 张斌;毛金银;贾倩;毛春龙;陈善俊 | 申请（专利权）人： | 江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 丁桂红 |
| 地址： | 226671 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜和氯碱化工技术领域，具体涉及一种六硼化镧复合碳薄膜的沉积方法及耐腐蚀应用，以阀门密封件为基体，采用六硼化镧作为靶材，甲烷或者乙炔作为碳源，沉积六硼化镧复合碳薄膜；沉积过程中六硼化镧会分解并和甲烷或者乙炔反应，生成碳化硼和镧硼碳纳米材料，弥散在非晶碳网络中，提高碳薄膜的承载性能和耐腐蚀性能。与现有技术相比较，本发明采用六硼化镧表面注入、梯度渐变非晶纳米晶弥散的方式沉积六硼化镧复合薄膜，提高了结合力、强韧性、耐磨性和耐蚀性能的同时降低了摩擦系数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六硼化镧 复合 薄膜 沉积 方法 腐蚀 应用 | ||
【主权项】：
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