[发明专利]一种偏振非制冷红外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 202010801760.8 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111896122B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李君宇;易飞;王鹏;甘先锋;董珊;陈文礼;王宏臣 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了偏振非制冷红外探测器，包括多个像元，每个像元包括由下向上设置的基底层、具有支撑与电连接孔的第一悬空层、具有支撑连接孔的第二悬空层；第一悬空层包括具有第一通孔的第一支撑层、第一电极层、热敏层、热敏保护层，第一通孔位于支撑与电连接孔的底部，以便第一电极层与基底层电连接；第二悬空层包括第二支撑层、线栅层，位于支撑连接孔处的第二支撑层与热敏保护层相连，且支撑连接孔位于支撑与电连接孔的外侧。本申请探测器中支撑连接孔位于支撑与电连接孔的外侧，无需对第一悬空层平坦化处理，且在制作第二悬空层过程中，在图形化牺牲层时刻蚀厚度也不会增加，简化制备工艺，提升性能。本申请还提供一种具有上述优点的制作方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 制冷 红外探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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