[发明专利]一种基于金刚石生长的PLC工艺气体控制方法有效
| 申请号： | 202010774619.3 | 申请日： | 2020-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN111943191B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 任泽阳;张金风;吴勇;王东;陈军飞;袁珂;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学芜湖研究院 |
| 主分类号： | C01B32/26 | 分类号： | C01B32/26 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市弋江区高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于金刚石生长的PLC工艺气体控制方法，包括步骤：获取金刚石生长的生长准备阶段、生长保持阶段和生长结束阶段中每个阶段的工艺气体种类、每种工艺气体的预设气体流量，并获取金刚石生长过程中真空腔体中的安全压力；在每个阶段，根据工艺气体种类控制每种工艺气体相应的隔膜阀运行，并控制每种工艺气体相应的质量流量计运行；在每个阶段，获取真空腔体内的实时压力，根据实时压力与安全压力的比较结果对每种工艺气体相应的隔膜阀的运行状态进行控制，以对每种工艺气体进行控制。该工艺气体控制方法填补了需要人工操作的空白，提升了安全等级，保证了系统运行的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金刚石 生长 plc 工艺 气体 控制 方法 | ||
【主权项】：
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