[发明专利]用于形成二氧化硅层的组成物、二氧化硅层和电子器件有效

专利信息
申请号: 202010771243.0 申请日: 2020-08-04
公开(公告)号: CN112409824B 公开(公告)日: 2022-04-05
发明(设计)人: 裵镇希;郭泽秀;姜明镐;张胜宇;卢健培 申请(专利权)人: 三星SDI株式会社
主分类号: C09D1/00 分类号: C09D1/00;H01L21/316
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨贝贝;臧建明
地址: 韩国京畿道龙仁*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种用于形成二氧化硅层的组成物、由其制造的二氧化硅层以及包含二氧化硅层的电子器件,组成物包含含硅聚合物和溶剂,其中当将70克的用于形成二氧化硅层的组成物添加到100毫升容器,在40℃下使其静置28天,且获得由组成物产生的1毫升的气体时,1毫升的气体包含氢气、硅烷气体SiH4以及氨气,且氢气、硅烷气体SiH4以及氨气满足等式1:[等式1](氢气量(ppm))/(硅烷气体SiH4的量(ppm)+氨气量(ppm))≥1.5本申请能使二氧化硅层内部的空隙的数目最小。
搜索关键词: 用于 形成 二氧化硅 组成 电子器件
【主权项】:
暂无信息
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