[发明专利]检测及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微尘的装置及方法在审
| 申请号： | 202010763336.9 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN112051273A | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 金成昱;金帅炯;梁贤石;贺晓彬;杨涛;李俊峰;王文武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94;G03F1/84;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 何家鹏 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种检测及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微尘的装置及方法。所述装置包括：装载单元，装载单元包括用于保持光掩模的保持部；检测单元，检测单元用于检测光掩模上的微尘；清理单元，清理单元用于对检测到的微尘进行清理。在应用微尘清理装置时，可以将待测的光掩模装载于装载单元，装载后的光掩模保持在保持部上，之后可以启动检测单元对光掩模上的微尘进行检测，待完成检测后，可以通过清理单元对微尘进行清理，从而去除光掩模上的微尘。利用本申请的微尘清理装置能够以连续的方式顺次对光掩模实施微尘检测和微尘清除的工作，使得微尘检测和微尘清除两项工作无缝衔接，由此，可以提高光掩模的微尘检测及清理过程的整体效率。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 理光 玻璃 面上 微尘 装置 方法 | ||
【主权项】：
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