[发明专利]DLC膜的脱膜方法及脱膜机在审
| 申请号： | 202010750316.8 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN111871973A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 龙青松;肖成云 | 申请（专利权）人： | 成都光明光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 敬川 |
| 地址： | 610100 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于脱膜技术领域，具体公开了一种操作简便且脱膜效果更好的DLC膜的脱膜方法，以及用于实现上述的DLC膜的脱膜方法的脱膜机。DLC膜的脱膜方法，包括将待脱膜的零件清洁处理后放置于脱膜机的脱膜区域中进行脱膜的步骤；脱膜过程中，先封闭脱膜区域并抽真空至气压0.05torr以下，再以20±0.5sccm的流量速度向封闭的脱膜区域内通入氧气并使封闭的脱膜区域内的气压保持在0.19～0.21torr，同时控制脱膜机以180～500W功率运行对氧气放电生成氧离子，使零件表面的DLC膜与生成的氧离子反应180～300s。该脱膜方法不仅操作简单、方便，而且利于控制、耗时较短；脱膜后在200倍显微镜下观察到，零件表面非常干净，且没有伤害到零件本身，可见脱膜效果非常好。 | ||
| 搜索关键词： | dlc 方法 脱膜机 | ||
【主权项】：
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