[发明专利]靶材坯料及其制作方法有效
| 申请号： | 202010742998.8 | 申请日： | 2020-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111621753B | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 韩刚;程兴德;韩启航 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/15 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 215506 江苏省苏州市常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种靶材坯料及其制作方法，靶材坯料制作方法包括：提供靶材原料，所述靶材原料为颗粒状；在所述靶材原料表面形成还原层，所述还原层含碳；对所述靶材原料进行脱氧处理，以便通过所述还原层去除所述靶材原料中的氧；对经脱氧处理后的靶材原料进行烧结处理，形成靶材坯料。所述靶材坯料制作方法能够形成低氧含量的靶材坯料。 | ||
| 搜索关键词： | 坯料 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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