[发明专利]研磨设备在审
| 申请号： | 202010733512.4 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111805414A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 彭名君 | 申请（专利权）人： | 群福电子科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/11;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B53/017;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 200439 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种研磨设备，包括基座，具有相对的第一面和第二面，所述第一面呈圆形，用于吸附晶圆的下表面；第一驱动机构，与所述第二面连接，用于驱动所述基座绕所述第一面圆心处的垂线旋转；研磨件，呈圆柱状，轴线与所述第一面圆心处的垂线相交且垂直；研磨垫，覆盖于所述研磨件的侧面；第二驱动机构，与所述研磨件连接，用于驱动所述研磨件绕轴线旋转。所述研磨设备中，所述研磨件呈圆柱状，轴线与所述第一面圆心处的垂线相交且垂直，所述研磨垫覆盖于所述研磨件的侧面，使得所述研磨垫作用于晶圆表面的线速度相同，从而能够更好的控制晶圆表面的平整度，且不需要复杂的分区研磨头，减少设备的成本以及控制难度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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