[发明专利]超声传感器制备方法、超声传感器以及电子设备在审
| 申请号： | 202010724160.6 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111864053A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 陆斌;沈健;王红超;王文轩 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/29 | 分类号： | H01L41/29;H01L41/316;H01L27/20 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种超声传感器制备方法、超声传感器以及电子设备，所述方法包括：在衬底层上形成整面电极，所述整面电极的第一表面平整；在所述整面电极的第一表面形成压电层，所述整面电极的第一表面在所述整面电极远离所述衬底层的一侧；在所述压电层的第一表面形成电极阵列，所述压电层的第一表面在所述压电层远离所述整面电极的一侧；在所述电极阵列的第一表面和所述压电层的第一表面形成电路层，所述电极阵列的第一表面在所述电极阵列远离所述压电层的一侧。本申请实施例提供的方法，使得在制备压电层之前表面平整，制备得到的压电层厚度均匀，进一步能够提高超声传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 传感器 制备 方法 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
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