[发明专利]一种传感器长时间高温蠕变加速仿真方法有效
| 申请号： | 202010720223.0 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111859762B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 杜江锋;杜科;蒋勇刚;刘成艺;荣丽梅 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F119/02;G06F119/14 |
| 代理公司： | 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 51232 | 代理人： | 葛启函 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种传感器长时间高温蠕变加速仿真方法，实现了长时间高温环境下传感器热场、弹性场、蠕变场三场之间的有效耦合。首先校准介质薄膜的高温蠕变关键参数，随后建立传感器芯片级有限元模型并进行相应的前处理及瞬态热分析，完成对传感器芯片级有限元模型的时变温度场求解；接下来将温度场结果线性压缩并传递至有限元软件中的瞬态结构分析模块进行结构分析，将热场分析时间等距压缩为结构场分析时间，将温度场载荷线性传递至结构场，在瞬态结构模块下进行考虑介质薄膜高温蠕变的加速仿真分析与求解；最后提取恢复达到室温的仿真结束时刻关键结构相关数据，得到高温蠕变影响下的应力累积量、应变累积量和形变累积量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 长时间 高温 加速 仿真 方法 | ||
【主权项】：
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